2018年1月 4日 - HORIBA集团提供一款光学式化学药液浓度计,可有效实现半导体或FPD中湿法工艺对混酸或单酸药液监测的需求。 自1995年起,HORIBA集团成功研发出一款多组分浓度监测的化学药液浓度计,其产品的推广帮助客户在湿法工艺中完成对化学药液浓度监测的需求。毫不夸张的说HORIBA集团的化学药液浓度计在半导体制程的前端工艺市场的占有率已达到领先水准。如今,随着半导体对工艺要求日渐精益求精,特别是对化学药液浓度的监控与日俱增,化学药液浓度计必然成为了不可或缺的必备...

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2017年12月26日 - 随着太阳能电池生产技术的发展, 转换效率越来越高,各种新的工艺手段得到广泛的应用,其中背钝化技术因为其对转化效率的显著作用(提高0.5~1%),成为今年来技术改造的热点.。无论是管式或者板式背钝化设备,都需要在反应腔内导入气态TMA, 与氧气反应后生成钝化膜,所以TMA的稳定气化就成为工艺控制的重中之重。TMA要求的气化温度不高, 而且工艺参数中要求流量较小,一般介于0.5g~2g/min,...

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2017年12月26日 - TMAH(羟化四甲铵),一种在半导体制程光刻工艺时使用到的显影液主要成分。在湿法刻蚀工艺中,越来越多的半导体芯片厂或者面板厂逐步倾向于使用TMAH作为显影液的主要成分。而监测显影液中TMAH的浓度可帮助用户控制刻蚀效果,提高刻蚀效果的质量与效率。HORIBA集团生产的HE-960H-TM系列的浓度计,作为显影液的主要成分的监测仪器,

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2017年12月19日 - HORIBA集团旗下最经典,市场占有率最大的产品即热式质量流量控制器,其原理是利用气流流过毛细管造成毛细管上下游温差从而检测、控制气体质量流量。不同于容积式流量计或流量控制器,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

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2017年12月19日 - 品  牌:HORIBA STEC产品型号:SEC-Z500X系列 / SEF-Z500X系列原产  国:国外 日本 详细说明:SEC-Z500X系列数字式质量流量控制器、

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2017年11月28日 - 品  牌:HORIBA STEC产品型号:LF-F20M-A适用范围:各芯片厂、高教所在地区:国外 日本 概要数字式

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2017年11月28日 - HOIRBA集团拥有丰富多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门,主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害,气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作,反应源液罐体后端控压以保证罐内压力稳定在安全范围。这些器件的研发及使用都始终致力于提高制程工艺中的良品率。 常见压力控制器UR-Z700系列 最常见的

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