常见两款压力控制器介绍

2017年11月28日


HORIBA集团拥有丰富多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门,主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害,气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作,反应源液罐体后端控压以保证罐内压力稳定在安全范围。这些器件的研发及使用都始终致力于提高制程工艺中的良品率。


常见压力控制器UR-Z700系列


最常见的压力控制器是UR-Z700系列,一款数字式自动压力调节器。根据不同用途,该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器通常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中,当供气压力突然发生变化时,管道或罐体内的压力也随之发生变化,这不仅会影响整条管路流量的稳定,甚至可能会对整台设备的安全造成极大威胁。针对这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列,通过快速响应,高精度,稳定控制的卓越性能来调整管路压力。即使面对这种情况,只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力,并确保气体质量流量控制器及反应源液的安全稳定运行。

常见压力控制器GR-300系列

GR-300系列是一款晶圆背面冷却系统控压仪器,也是众多压力控制产品中的一员。简单来说GR-300是通过控制氮气或氦气压力以达到氮气或氦气稳定的均匀的通过晶圆背面,并均匀而快速的冷却晶圆的效果。当客户使用GR-300这款压力控制产品时,它可精确控制氦气或氮气的压力,无论是晶圆的中心部位或是晶圆的边缘部位都可同时均匀稳定的冷却,从而确保晶圆整体温度的一致性,尽可能避免因温差对晶圆造成的损害。GR-300搭配的压电陶瓷阀门常被用于压力控制,即使在较低压差条件下也能实现高精度,高稳定的控制。