质量流量控制器、质量流量计介绍

2017年12月19日


HORIBA集团旗下最经典,市场占有率最大的产品即热式质量流量控制器,其原理是利用气流流过毛细管造成毛细管上下游温差从而检测、控制气体质量流量。不同于容积式流量计或流量控制器,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

应用市场
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、FPD、光纤、光伏、真空镀膜、分析、化工、环境、食品、生物制药等行业的气流测量与控制。
 
质量流量控制器和质量流量计的区别
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC),具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM),只有流量测量功能,不具备气流控制功能。
 
质量流量控制器和质量流量计的单位
SCCM、SLM为常见的MFC或MFM的使用单位。SCCM和SLM是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零摄氏度,一个标准大气压的条件。
SCCM–标准立方厘米每分钟
SLM–标准立方升每分钟
1000SCCM = 1SLM

质量流量控制器和质量流量计使用小贴士

  • 一般情况下当一颗MFC或MFM接上电源线后,确保环境温度稳定并使其接电预热15分钟以上,可有效确保产品精度及稳定性。
  • 在安装过程中,位于MFC或MFM背部大标签下方有指示气体流经的方向。



  • 质量流量控制器中的Normal Close与Normal Open的区别

Normal Close型的MFC: 断电情况下,阀保持常关状态的MFC。
Normal Open型的MFC: 断电情况下,阀保持全开状态的MFC。