化学药液浓度计&混酸监测

2018年1月 4日


HORIBA集团提供一款光学式化学药液浓度计,可有效实现半导体或FPD中湿法工艺对混酸或单酸药液监测的需求。

自1995年起,HORIBA集团成功研发出一款多组分浓度监测的化学药液浓度计,其产品的推广帮助客户在湿法工艺中完成对化学药液浓度监测的需求。毫不夸张的说HORIBA集团的化学药液浓度计在半导体制程的前端工艺市场的占有率已达到领先水准。如今,随着半导体对工艺要求日渐精益求精,特别是对化学药液浓度的监控与日俱增,化学药液浓度计必然成为了不可或缺的必备零部件。
为了更好的满足客户的需求,也是为了更符合半导体快速更迭的技术,HORIBA集团不断开发探索,与客户互相合作研发出不同层次的化学药液浓度计,比如CS-100系列,CS-600系列,CS-700系列等等。

CS-100系列的化学药液浓度计提供了一套完整的在线式高精度化学药液浓度混酸监测系统,针对不同的药液,不同的浓度范围此款浓度计至多可同时监测多达4种成份或浓度范围的混酸。在半导体工艺的湿法刻蚀与清洗工艺中,此浓度计的应用可帮助客户完成在线浓度监测。其高速响应、高稳定及高精度的性能使得在线检测过程更合理、更可靠,及时药液浓度的细微变化都会通过浓度计所反映。而小巧轻便的尺寸大大节约了设备内空间位置,有效提高设备内的空间利用率。

特点

  • 化学药液浓度的在线检测

与传统滴定式的浓度检测不同,光学式的浓度计可与设备商的设备相互搭载,并实现在线检测药液的浓度值,3秒内的快速检测可帮助客户更加直观了解即时药液浓度,避免药液异常导致的各种生产问题。

  • 全自动测量

操作人员仅需要准备好需测量的药液,将浓度计链接上管路,通上电源调试完毕即可实现全自动测量。

  • 搭载脱泡装置,避免因气泡问题产生浓度值偏差

在药液的流通过程中,某些特殊药液不可避免的会产生气泡。而HORIBA集团的化学药液浓度计装载脱泡槽,在检测前完成脱泡操作可避免浓度值检测偏差等问题。

  • 无药液损耗

与传统滴定方式不同,光学式化学药液浓度计通过吸收光来检测药液浓度。即无需通过任何化学反应消耗化学药液即可完成浓度检测的工作。针对昂贵的化学药液此种测量方式可大大节约客户的成本,有效提供药剂的利用率。

  • 小巧的体型

与前代(CS-200系列)相比,CS-100系列的化学药液浓度计大大减少了占用空间,有效提高空间利用率。

以上就是对化学药液浓度计&混酸监测的相关介绍,如您对以上产品还有任何疑问可留言给我们,我们会有专业人员给予您即时的答复。