数字式液体流量计LF-F系列

2017年11月28日


品  牌:HORIBA STEC
产品型号:LF-F20M-A
适用范围:各芯片厂、高教
所在地区:国外 日本


概要
数字式液体流量计LF-F系列搭载有世界上首次采用冷却检测方式的流量传感器。


特征

  • 通过采用数字回路,实现了高精度・高速响应。
  • 可以进行微升以上的微小流量控制。
  • 可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
  • 超洁净类型

注意事项:

1: 数字式液体流量计LF-F系列利用1种液体进行了流量校正 (请预先指定所使用的液体。)

  • 对象液体种类的选择:可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外
  • 不能检测含有固体物的液体。
  • 如果混合液中混合比会发生变化时,请预先联系我们进行咨询协商。

2: LF-F类型数字式液体流量计根据流量量程,可以适用到最大值, 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
3:精度:±1% F.S. 线性:±0.5% F.S. 重复性:±0.5% F.S.(以SEMI E56-1296 为准)
4: 使用环境温度:5〜50℃ (15 〜 45℃精度的确保)

  • 进行测量的液体温度如果低于环境温度时,使用时请把温差控制在10℃以内
  • 如果高于液体温度时,使用时请把温差控制在3℃以内。