PI 质量流量控制器 — 新技术!新产品!

2017年11月16日


HORIBA STEC主流流量控制器普遍采用热式质量流量控制器,最具代表意义的莫属SEC-Z500系列。随着半导体各种制程技术的革新与技术要求提高,HORIBA STEC不辱使命的推出了完全不同于以往的流量控制器——PI(压力非敏感)质量流量控制器 D500。
近年来国内的晶圆生产商已将视线逐步转移往28nm甚至14nm,对工艺技术要求同比增长。HORIBA STEC推出的PI流量控制器以创新的原理技术彻底提高了产品综合性能,做到更快的响应速度,更高的精准度以及更稳定的流量控制。可应用于晶圆制造过程的各种不同工艺,如ETCH、CVD、PVD等等。

何谓PI?一言以蔽之:最新研发的可变控制模式,减少进气压压差波动,自动启用PID调节,在保持高速响应的过程中,提供稳定流量控制的同时消除了压力波动的干扰。

那么D500的优势体现在哪方面呢?

  • 应对多种气体、量程、压力范围

此MFC可允许用户更改气体种类,满量程范围、供气压范围。

  • 高精度
  • 快速响应
  • 可控范围广:控制范围0.2%F.S~100%F.S