TMAH浓度计帮助用户控制刻蚀效果

2017年12月26日


TMAH(羟化四甲铵),一种在半导体制程光刻工艺时使用到的显影液主要成分。在湿法刻蚀工艺中,越来越多的半导体芯片厂或者面板厂逐步倾向于使用TMAH作为显影液的主要成分。而监测显影液中TMAH的浓度可帮助用户控制刻蚀效果,提高刻蚀效果的质量与效率。

HORIBA集团生产的HE-960H-TM系列的浓度计,作为显影液的主要成分的监测仪器,TMAH具有一定腐蚀性,因此在检测的材质方面HORIBA决定使用四电极碳传感器。此种材质具有高效抗腐蚀性,可防治药液在检测时与传感器发生反应影响检测结果,污染药液成分。

在传感器设计之初,HORIBA集团就考虑到药液泄漏等问题,在设计传感器整体结构之时就决定采用一体式制造,其目的是为了避免任何安全隐患的发生。所谓一体式制造是说包裹在传感器外部的PFA材质全部采用无缝连接,在制造PFA材质的外壳为一款整体模具,脱模之后即为无缝整体PFA传感器外壳,此种倒模方式不存在泄漏等问题从而造成药液污染等安全问题。

此款传感器为流通型传感器,管路接口可根据客户管路要求提供多种不同尺寸类型,想了解更多详细产品信息,可在线留言,会有专业客服为您解答。