欧洲石墨烯项目使用在线式椭偏成功实现了实时监控石墨烯的生长

2016年5月31日


石墨烯薄膜生长,表征和集成项目GLADIATOR 旨在开发高质量,大面积,低成本石墨烯薄膜(透过率≤ 90%,面阻≥ 10 Ohm/sq)。在未来的石墨烯CVD制程中,对石墨烯生长过程进行在线监控及实时质量控制是必不可少的手段。

UVISEL光谱椭偏仪被用于AUTh CVD 6’’石墨烯沉积系统中。AUTh t 与OET P.C. 通过在线椭偏首次展现了单层石墨烯与多层石墨烯在生长过程的差异性。UVISEL使用相调制技术,能够提供深紫外-可见波段超高速的采集时间,同时提供高精度的数据,最佳的信噪比,是石墨烯薄膜的研发必备工具。

除了功能强大的光谱椭偏技术外,项目合作者还将继续通过在线拉曼设备获取完备的表面化学及石墨烯生长质量信息。该项目目前仅开展到一半,就已取得了非常有趣的结果,有希望在项目的中后期取得更加有价值的研究进展。