椭圆偏振仪

应用报告

椭圆偏振光谱仪是精确测量单层薄膜和多层薄膜厚度和光学常数（n，k）的最佳工具。厚度测量范围从几埃到几十微米。先进材料特性的表征也同样可能，例如：各向异性结构、梯度和非均匀层，合金的组分等。