椭圆偏振仪

用于显示产业的大面积测量平台

平板测量系统集成了椭圆偏振光谱仪和DUV反射光谱仪。系统可以精确、快速地表征小到10微米图案的和多层结构的薄膜材料的厚度、光学常数和反射率。