除了表征薄膜厚度和光学常数，椭偏分析还提供了关于材料特性的丰富信息: 各向异性、梯度变化、形貌、结晶度、化学组分、电导率。
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The ultimate solution to every challenge in thin film measurement
产品:
UVISEL VIS: 210-880 nm
UVISEL FUV: 190-880 nm
UVISEL NIR: 245-2100 nm
UVISEL ER: 190-2100 nm
UVISEL VUV: 142-880 nm
测量薄膜厚度和光学常数。用于研究和工艺发展.
