真空紫外光谱仪
真空紫外 – 从部件装配到完整光束
自从我们进入VUV设备制造领域，HORIBA Scientific 就与全球各地的同步辐射中心合作开发了新光学组件、单色仪设计和制造。这使我们在增加分辨率和通量的同时将高次谐波污染降到最低。例如：1969年将全息记录方式用于光栅制造，1975年设计制造了著名的环形光栅单色仪（TGM），1975年设计制造了世界首个全息离子刻蚀光栅。
组件
单色仪和摄谱仪
TGM (环形光栅单色仪)
TGS (环形光栅摄谱仪)
PGM-PGS (平面光栅单色仪)
VTM (真空环形单色仪)
H20-UVL (真空紫外单色仪)
同步辐射光束