HORIBA是目前全球范围内最大的气体或液体流量控制器的生产制造商之一,包括模拟式、数字式、高温质量流量控制,以及搭配有液体源汽化控制及传输系统。

HORIBA提供的临界控制系统成功应用于镀膜制造产线。我们提供广泛综合的液体控制及过程监控已提高产量,加大生产力以及镀膜工艺的综合价值。

HORIBA拥有世界上最小的四极质谱仪,相较于其他更大型的传统系统,能有效应用于高压环境(1 Pa)。它并不需要额外添加泵送设备。

Film Coating
Glass Coating

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