压力不敏感型高性能质量流量控制器D500

概要

最尖端的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500

高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI(压力不敏感型)质量流量模块

特征

  • 压力不敏感性

高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统

  • 多量程,多气体,多种压力的解决方案

新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围

  • G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)

先进G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力

  • 高精度

先进的三维调节已改进工艺气体的流量精度

  • 快速响应

响应速度<0.8秒
已实现精准且稳定的流量控制

  • 动态范围

控制范围:0.2% F.S. ~ 100% F.S.


制造: HORIBA STEC

产品相关图及其它

Dimensions of CRITERION D500