在当今世界，空气污染作为一个环境问题越来越受到重视，因为它对人类健康造成了危害。
大气颗粒物(PM)。直径小于2.5微米的PM2.5颗粒是需要测量的大气污染单位之一。HORIBA公司开发了APDA-375A可以测量PM 2.5，该系统包括一个气体质量流量测量系统。
气体质量流量控制器(“MFC”)确保准确的气体控制与良好的重复性，如果温度和压力的变化，由于环境的变化，这是一个非常重要的空气污染测量设备。
高响应压力非敏感质量流量器
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
排气压力控制器
热式气体分流器
晶圆背面冷却系统
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
混合注入系统液体汽化器
混合注入系统液体汽化器
压电阀
质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
数字式液体质量流量计
压差式质量流量控制器
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