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硅半导体制程必须严格遵守各项技术规格，HORIBA 为此研发了各种分析、控制和评估技术。
HORIBA 将这些技术充分应用于FPD加工领域，为各类制程提供支持，包括气体和液体药物成分、光罩颗粒检测和薄膜测量；同时还应用于高性能的分析和控制设备，从而支持 PDP、OLED、FED 的研发，促进FPD的多样化发展。
防爆气体分析仪
独立式化学药液浓度计
光纤型化学药液浓度计
高精度、高稳定性化学药液浓度计
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
热式气体分流器
用辉光放电光谱仪去发现一个崭新的信息世界
用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪
高精度红外温度计[固定式]
紧凑型加热汽化
自动供液系统
紧凑型工艺气体监测仪
激光粒度分析仪
过程分析系统
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
真空紫外椭偏仪
多组分气体分析仪
直接液体注入系统
X-ray Analytical Microscope
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