加热系统 LSC系列

概要

HORIBA STEC在售的最好的液体加热系统已经能够满足目前高科技工业的需求,LSC-A100可以不需要载气并提供大流量气化,LSC-A100能够提供稳定的气化后的液体,例如TESO 60SCCM和H2O 2SLM。

所有的设备操作可以在设备前端的操作界面上实现。一种可选的袖珍PC型的PDA可以用来监视LSC的操作状态,并且去记录和分析操作数据。

LSC系列是一种针对诸如TEOS等液体的液体气化系统,历史证实这是一种很受欢迎的系列。LSC-A100是LSC系列中最新的一种型号,可以产生大流量的蒸汽。和之前的型号比较,新的LSC-A100可以在没有载气的情况下提供稳定的液体气化,可以传送稳定持续的蒸汽供应(如600ccm的TEOS,2SLM的H2O)。

特征

  •  大流量气化
  • LSC-A100提供稳定的液体气化,诸如TEOS 600SCCMH2O 2SLM
  • 所有的设备操作可以在设备前端的操作界面上实现
  • 一种可选的袖珍PC型的PDA可以用来监视LSC的操作状态,并且去记录和分析操作数据。

制造: HORIBA STEC

規格

 

 

Flow rate generated

H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (Max.)

Operating pressure

Max. 1.33kPa

Source tank volume

2.7L

Heat regulation method

PID control by the heat regulator

Liquid surface detection method

Floating switch

Internal mass flow controller

SEC-8400 series

Air pressure valve

Bellows type

Materials in liquid connection and gas contact area

SUS316L, PFA

Operating Temperature

20 to 35°C

External input

Air pressure valve open/close, mass flow controller flow rate setting signal (0 to 5 V DC/0 to 100% F.S.), emergency stop signal, auto zero signal (option)

External output

Temperature alarm, liquid level H.H. alarm, liquid level signal (H, M, L), READY signal, mass flow controller flow rate output signal ((0 to 5 V DC/0 to 100% F.S.), thermoregulated bath internal fan stop alarm, valve voltage monitor (option)

Power source

AC 100 V, single phase 50/60 Hz, 1.5 kVA

Other

Auto-recharge system: Can be connected to LU series.

* The flow rate control range varies with the type of liquid.

* SCCM and SLM are symbols indicating gas flow rate (mL/min, L/min at 0°C, 101.3 kPa).

产品相关图及其它

LSC Dimensions
LSC System Overview