直接注入 VC 系列

概要

由于是无载体类型,所以可以构筑小型气化系统

由于通过质量流量来测定发生量,所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。

特征

  • 超小型 : 只有原来的1/5
  • 高速完全气化 : 可以瞬间完全气化被供应的液体。
  • 安装固定方向自由 :无论在哪一个安装固定方向,都可以保持相应功能。
  • 不需要气泡式容器、气化容器

制造: HORIBA STEC

規格

VC-1310

产生流量 (TEOS发生时)

不满1.0 CCM (液相的换算) ※1

对象液体种类

会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外

可升温温度

最大值.150℃

接气部材质

SUS-316L (PTFE)

耐压

1.0MPa(G)

VC-1310

产生流量 (TEOS发生时)

最大值.5.0 CCM不到 (液相的换算) ※1

对象液体种类

会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外

或升温温度

最大值.150℃

接气部材质

SUS-316L (PTFE)

耐压

1.0MPa(G)

※1 不同的液体种类将会有所差异。请进行咨询协商。

产品相关图及其它

Dimensions of Direct Liquid Injection System