光纤制造业中,等离子喷枪内气体控制是非常重要的一个工艺过程。HORIBA流量监测及控制技术可高精度、高重复性的控制气体流量。为了预制,光纤制造行业常使用PoCl3,SiCl4以及Gecl4通过鼓泡系统或热箱。高精度、高重复性的控制汽化工艺可通过精准的鼓泡系统/热箱操作,严格控制载气。

HORIBA的核心产品SEC-Z500X系列可控制流量达到500SLM,联合我们的高温流量控制器SEC-8000系列可完美应对挑剔的工艺气体高精度流量控制。

Optical Fiber Map

相关产品

如下展示了不同阶段的光纤制造工艺过程。请点击各个阶段的链接以了解我们产品。

数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列

针对多种工业。多种通讯方式,数字式/模拟式,DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM,全金属

多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

提供多气体,多量的解决方案,是销量第一的气体质量流量控制器。高精度,快速响应,轻巧的尺寸。全金属

高温应用质量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列

适用于高温环境的数字式质量流量控制器

加热系统

加热系统 LSC系列

适用于相关范围的液体源的稳定加热系统

直接注入式系统

We can offer custom-made solutions consisting of the folowing components. Please contact us with your requests.

数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列

针对多种工业。多种通讯方式,数字式/模拟式,DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM,全金属

多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

提供多气体,多量的解决方案,是销量第一的气体质量流量控制器。高精度,快速响应,轻巧的尺寸。全金属

Digital Liquid Mass Flow Meters/Controllers LF-F/LV-F series

搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器

Mixed Injection System Liquid Vaporizer MI-1000/MV-1000 Series

通过气液混合气化方式实现了液体材料的高效率气化

鼓泡系统

We can offer custom-made solutions consisting of the folowing components. Please contact us with your requests.

数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列

针对多种工业。多种通讯方式,数字式/模拟式,DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM,全金属

多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

提供多气体,多量的解决方案,是销量第一的气体质量流量控制器。高精度,快速响应,轻巧的尺寸。全金属

数字式自动压力调节器  UR-Z700 系列

UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效,响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器

Vapor Concentration Monitor IR-300

In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.

IR-200

Monitors SiF4 gas concentration in real time, and identifies the cleaning end-point based on SiF4 gas concentrations.

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA荣获液体传输系列大奖(FDM系列),此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统,实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程,同样可以用于BBr3的扩散制程,减少运输和人力成本,提高安全性。

液体源自动注入系统

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA荣获液体传输系列大奖(FDM系列),此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统,实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程,同样可以用于BBr3的扩散制程,减少运输和人力成本,提高安全性。

液体自动填充系统 LU系列

LU系列产品可自动输送化学药液至加热系统或液体喷射系统。安全,高效,保证液体源供应不间断。