光纤
光纤制造业中，等离子喷枪内气体控制是非常重要的一个工艺过程。HORIBA流量监测及控制技术可高精度、高重复性的控制气体流量。为了预制，光纤制造行业常使用PoCl3，SiCl4以及Gecl4通过鼓泡系统或热箱。高精度、高重复性的控制汽化工艺可通过精准的鼓泡系统/热箱操作，严格控制载气。
HORIBA的核心产品SEC-Z500X系列可控制流量达到500SLM，联合我们的高温流量控制器SEC-8000系列可完美应对挑剔的工艺气体高精度流量控制。
相关产品
如下展示了不同阶段的光纤制造工艺过程。请点击各个阶段的链接以了解我们产品。
针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属
We can offer custom-made solutions consisting of the folowing components. Please contact us with your requests.
针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属
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针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属
In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.
Monitors SiF4 gas concentration in real time, and identifies the cleaning end-point based on SiF4 gas concentrations.
HORIBA荣获液体传输系列大奖（FDM系列），此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统，实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。
FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程，同样可以用于BBr3的扩散制程，减少运输和人力成本，提高安全性。
HORIBA荣获液体传输系列大奖（FDM系列），此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统，实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。
FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程，同样可以用于BBr3的扩散制程，减少运输和人力成本，提高安全性。
