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膜厚

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UVISEL - 光谱型椭圆偏振仪-远紫外到近红外: 142 to 2100 nm

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UVISEL VIS: 210-880 nm

UVISEL FUV: 190-880 nm

UVISEL NIR: 245-2100 nm

UVISEL ER: 190-2100 nm

UVISEL VUV: 142-880 nm

测量薄膜厚度和光学常数。用于研究和工艺发展.

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