气体流量

基于多年来引领尖端技术产品的市场发展经验，我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品。 气体被广泛地运用于各种工业领域，从太阳能电池、燃料电池的研究和制造，这一获得巨大关注的再生能源项目得到了全球各地的支持；到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管（LED）的研究和制造。在这些制造工艺中，对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率，进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA...

可编程的高性能流量控制器

适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3

高稳定性的质量流量组件-控制气体流量,不受顺流及逆流压力波动的影响.

应用高温技术的高可靠性，高精度数字式流量控制器

适用于高温环境的数字式质量流量控制器

大流量(〜1000SLM)气体流量控制器

它是搭载有温控阀的基本型号。

利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。

高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制。

通过气液混合气化方式实现液体材料的高效率气化

通过气液混合气化方式实现液体材料的高效率气化

适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号

它是搭载有温控阀的基本型号