自动供液系统

HORIBA提供多种自动注入装置,安全、可靠的传输液体到任何端点。针对半导体工艺挑剔的要求,HORIB提供的产品中需要接触液体的零部件全部采用不锈钢材料,以达到高性能的表现效果。HORIBA的直接注入式汽化器可传输TEOS、TEB、TEPO。针对光刻、扩散工艺中用到的强腐蚀性材料,FDM系统选用抗腐蚀非金属材料,保证工艺系统的寿命及安全。FDM可传输液体PCL3或BBr3至HORIBA先进的温度补偿鼓泡装置装置VM系列。
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液体自动注入装置

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA荣获液体传输系列大奖(FDM系列),此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统,实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程,同样可以用于BBr3的扩散制程,减少运输和人力成本,提高安全性。

液体自动填充系统 LU系列

LU系列产品可自动输送化学药液至加热系统或液体喷射系统。安全,高效,保证液体源供应不间断。