POCl3 自动供液系统

概要

HORIBA荣获液体传输系列大奖(FDM系列),此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统,实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDMVM系统适用于硅基电池片的扩散制程,同样可以用于BBr3的扩散制程,减少运输和人力成本,提高安全性。


制造: HORIBA

規格

1.提高产能

VM系列(汽化传输系统)无需使用传统的石英鼓泡器更换,实现最小化停机时间,有效提供产能。

2.减少运营成本

FDM系列可减少POCL3消耗:每公斤可降低30%的价格
依赖于持续工作,实现超过99.8%的正常运营时间
减少POCL3浪费
更长的寿命,更低的维护成本,系统内部工艺流程无需暴露于周围环境

3.提高工艺稳定

VM系列始终将液位保持”High”状态,使整个工艺流程相比较石英鼓泡系统更为稳定
由于鼓泡装置的持续注入,液位将不会受到影响
无鼓泡装置需更换,避免操作失误
无环境温度的影响
薄层电阻相较于传统鼓泡装置更为稳定,再现性更出色

4.提升安全性

无石英材料。VM系列将由PFD材质构建。相较于石英材料,PFD更为坚固,无需替换
无需定期更换parts,减少人工操作失误
POCL3将从20L的不锈钢瓶传输控制至PFA管路
坚固、无泄漏的鼓泡外壳与厂务端链接排气
集成液体泄漏,气体泄漏监测装置
湿线清理与泄漏自动监测

5.提高可靠性

POCL3是一款亲水性强可产生磷酸导致腐蚀或结晶的液体。常规的鼓泡系统需要定期更换会导致提升与空气接触的可能性。HORIBA POCL3的自动注入系统不需要定期更换鼓泡系统,有效降低了POCL3管道与空气接触的可能性。