用于实验室研究与测试的气体质量流量控制器
外形尺寸
SEC-E 系列
质量流量控制器
这种通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀，可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件，SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。
通过质量流量控制器的气流可控制在不同的流量范围内：10 SCCM 至 200 SLM。
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- 配备可靠的热传感器和电磁阀
- 流量控制范围广：10 SCCM 至 200 SLM (N2)
- 应用广泛
- 可集成至各种制造系统，包括：液晶显示器、光伏电池、功率半导体、镀膜
- 一般工业：燃烧器气体控制；大气气体控制；混合气体生产；换气量测量
- 研发：各种气体传感器和燃烧室性能评估设备；生物技术相关评价
- 实验室：用于各种实验、气体取样的气流控制器
气体质量流量控制与测量和对 PM2.5 参考值的测量
