外形尺寸
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数字式质量流量控制器
SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量:10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列还支持各种通信模式,即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供高精度(+/- 1.0% 设定点 *1)和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能,可降低制程成本。
*1 不包括 SEC-N17X 系列
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Models | Select communication mode | Select power supply |
SEC-N102 series | Digital communication ▶RS485 F-NET Protocol Analog communication ▶0〜5VDC | ±15VDC(±5%) HORIBA'S lineup includes leased power supply PE series. |
SEC-N104 series | DeviceNet™ communication | Conforming to ODVA standards |
SEC-N105 series | CC-Link® communication Analog communication ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | Conforming to CC-Link® standards 24VDC (13 to 32VDC) |
SEC-N106 series | PROFIBUS™ communication Analog communication ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | Conforming to PROFIBUS™ standards 24VDC(13 to 32VDC) |
SEC-N107 | EtherCAT® communication | Conforming to EtherCAT® standards 24VDC |
*1 不包括 SEC-N17X 系列
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Control Unit
Conversion Adapters
Dedicated power sources
Display Unit
Mass Flow Checker
Monitor Unit
Setting Units
排气压力控制器
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
光发射光谱蚀刻终点监测仪
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
Quadrupole Mass Analyzer
混合注入系统液体汽化器
压电阀
等离子体发射控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
电容式压力计
定容取样
高响应压力非敏感质量流量器
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
超声波尾气流量计
热式气体分流器
Hydrogen Fuel Flow Meter
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
混合注入系统液体汽化器
皮托管流量计
双路皮托管流量计
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
新型压力补偿质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
直接液体注入系统
压差式质量流量控制器
Function Control Unit with Mass Flow Controllers
Automatic Span Gas Unit for Parallel calibration
Automatic Span Gas Unit for Serial calibration
Automatic Span Gas Unit Transferstandard
Automatic Span Gas Generator Unit for Quality control at field test
高响应压力非敏感质量流量器
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module
宽范围压敏质量流量计
热式气体分流器
数字式液体质量流量计/控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
新型压力补偿质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器