等离子浓度喷射装置

HORIBA等离子浓度喷射装置在反应溅射过程中能非常有效的控制等离子浓度。在反应溅射过程中,通过监测溅射产生的等离子浓度或牵引供电电压,实现反馈活性气体流量的控制可有效帮助客户提升产品质量,实现更大生产力。

离子浓度喷射控制器 RU-1000

应用于反应溅射工艺中优秀的等离子体控制,对于在反应溅射工艺中出色的气体流量反馈控制, 通过工艺时等离子体或者供电电压的实时监测有助于提高产品质量并达到更高产能。