压力控制器

HORIBA拥有丰富多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器包含数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门。晶圆冷却系统使用氦气以降低热损害。排气压力控制器可始终维持腔体内压力的稳定。这些器件始终致力于提高制程工艺中的成品率

自动压力调节器

数字式自动压力调节器  UR-Z700 系列

UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效,响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器

压电陶瓷阀

Piezo Actuator Valve PV Series

它内置有高速响应的压电阀,接气部采用了全金属构造,最适于超清洁类型的高纯度气体供应系统。

通过金属封口方式实现了超低泄漏

不仅可进行气体的流量控制,而且还可以进行液体的流量控制

排出压力控制

反应腔室排气压力控制器   EC-5000系列

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成,此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。

晶圆背面冷却系统

晶圆背面冷却系统  GR-300系列

GR-300系列产品可用于控制对由静电夹固定的晶圆的背面进行冷却的气体

适用于使用He,Ar等气体进行冷却的设备系统