反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列

概要

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成,此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。

特征

  •  适合高真空环境使用:不锈钢质本体
  • 抗腐蚀

     

  • 使用PTFE(聚四氟乙烯)制作的本体也可以提供

     

  • 适合对于腐蚀性气体的使用

     

  •  

当排气端流量被调整到最佳的位置:

  • 抗蚀剂是以一层均匀的薄膜方式分布的

     

  • 阻止了喷雾的次级沉积

     

  • 阻止了危险水蒸气的扩散

    此外,与流量传感器控制方式相比较而言,因抗蚀剂和其他污染物堆积对本产品造成的影响更小

    此产品属于受日本法律管制的出口品(列于控制清单之上)。在从日本出口到海外或者供应给非日本企业前,必需从日本经济产业省的相关部门获得出口许可证件。


制造: HORIBA STEC

規格

Model                   EC-

5104

5105

5202

Compatible size

NW40

NW50

25 mm PTFE fitting

1 inch PTFE fitting

Materials at gas contact area

SUS316L, Fluoro rubber

PTFE, PEEK, Fluoro rubber

Conductance
(in vacuum area)

0.4 to 80L/s

0.6 to 200L/s

——

Outflow at 100 mm H2O
(fully closed)

20L/min

25L/min

3L/min

* This product is subject to Japan's Export Control Law (i.e. on its control list). Before it is exported from Japan to overseas or supplied to non-residents, an Export License must be obtained from the Ministry of Economy, Trade and Industry (METI) of Japan.

产品相关图及其它

反应腔室排气压力控制器   EC-5000系列