压电阀 PV 系列

概要

PV-1000/2000系列由陶瓷晶体阀和金属主体和金属密封圈组成,再由压力传感器或流量传感器和一个比率控制器来进行压力控制或流量控制。陶瓷晶体驱动阀:陶瓷晶体阀系列根据外部单元控制信号来实现压力控制功能。压力信号来自压力传感器外部控制信号单元PCU-1000/2000,控制单元会通过节内部电路计算出最佳的控制方式并输出给陶瓷晶体阀来实现压力控制。且PCU-2100同时具有压力控制信号设定功能。

特征

  • 超洁净处理

  • 量程范围广

  • 耐高温 PV-1000S/2000S 系列

  • 外部控制压力系统

制造: HORIBA STEC

規格

PV-1000

流量量程

1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算)

流量控制范围

全标度的2〜100%

阀门方式

常开/关闭型

控制输入1

0〜5VDC

响应性

0.5秒以内

使用温度

0〜50℃

使用压力

最大值.300kPa

耐压

1MPa

泄漏规格

5×10-12Pa・m3(He)

PV-2000

流量量程

10/20 LM (入口端为大气压力、出口端为真空、以N2换算)

流量控制范围

全标度の2〜100%

阀门方式

常开/关闭型

控制输入1

0〜5VDC

响应性

0.5秒以内

使用温度

0〜50℃

使用压力

最大值.300kPa

耐压

1MPa

泄漏规格

5×10-12Pa・m3(He)

产品相关图及其它

Dimensions of PV Series