超纯水管理用 高灵敏度硅表 SLIA-300

概要

在半导体/FPD工艺中,超纯水中的二氧化硅浓度会给产品精度以及原材料利用率带来很大影响。高灵敏度硅表 SLIA-300完全能够达到1μg/L(1ppb)等级的检测要求。在其小巧的台式型机身中可实现在整个检测范围内的高灵敏度检测。连同HORIBA享有好评的一些基本特性,例如高速响应性以及自我诊断功能等,其值得夸耀的表现将灵敏度带入了一个新的等级。SLIA-300为半导体/FPD制造流程中的纯水工艺提供了强有力的支持。

特征

●高灵敏度、以及较高的重复性。
利用HORIBA新开发的,独特检测单元,SLIA-300实现了应对低浓度的高灵敏度测量。通过5分钟的高速测量,可保证在0〜2μg/L量程中实现全刻度±2%的重复性。

●小巧设计的台式型。
新开发的检测单元技术,实现了划时代的小巧设计。由于是台式型,所以可以适用于各种各样设置条件等较小空间。也可以作为移动式使用。

●试剂的消耗量可降低80%。
采用改良型检测单元,可以把试剂的消耗量降低到原来的80%。能够大幅地削减试剂的经费成本。

●最多可检测6个点。(可选件)
支持多点检测,SLIA-300支持的多点检测。检测点数可以在1和6之间进行任意设定。

●自我诊断功能检查运行错误。
该功能可对试样水以及试剂的注入、校正、检测单元内温度和光源异常等运行错误进行监测和自我诊断。如果发生错误,就会以报警灯显示,同时通过文字显示输出信息。

●通过自动校正,实现良好维护性。
每次测量之前将自动进行零点校正,除可以确认透过光度以外,还可以修正浊度的影响。

●采用不需要更换的半永久性光源。
采用光量稳定、 工作寿命长的单色性半导体光源。


制造: HORIBA Advanced Techno

規格

原理

钼蓝吸光测定法

量程

0〜2/0〜20μg/L or 0〜5/0〜50μg/L(请于订货时指定)

再现性

全刻度的±2%

测量时间

5分钟

检测周期

5〜995分钟任意设定

指示标记

・检测值(浓度):3 1/2位 7段LCD
・状态显示(信息):16字×4行 点式矩阵LCD

检测测量点数

1〜6点(请于订货时指定)

校正功能

标准液校正

补正功能

空白补正 称量线补正(每条线都是独有的)

使用的试剂

・试药A:硫酸+钼酸铵
・试药B:草酸
・试药C:L(+)-抗坏血酸

更换试剂周期

1个星期(本公司推荐的时间)

电源

100 - 240V AC 50/60 Hz

最大功率

约600VA

安装条件

室内,环境温度:10〜35℃,湿度:85%或更低

试料水条件

・水 温:15〜35℃
・供给流量:250〜300mL/min(可以调整)
・压 力:0.1〜0.5MPa

外形尺寸

375(H)×580(W)×500(D) mm

重量

1个测量点 约41kg(每增加1个测量点数,重量则相应增加1kg)

外部输入输出

浓度输出

・4〜20mA DC/0〜16mA DC/0〜1V DC(请于订货时指定)

接点输出

・ 每条线相同: 测量中、同步信号、报警信号(批次)、加热器、关闭电源、校正信号1和2、浓度上限报警或切断样品水。 ・每条线不同: 量程、浓度上限报警或切断样品水 (请在订货时指定浓度报警、切断样品水批次或各条线的报警。另外,报警信号内容也要同时进行选择。)

接点输入

・ 每条线相同: 校正开始、测量开始、经济运转、线的选择、测量低量程、检测高量程

串行输入输出

RS-232C

适合规格

CE标记、FCC Part15

可选件

样品水加热装置、标准液供给装置、试药调配用器具