
TMAH浓度计HE-960H-TM
概要
适用于显影液中TMAH的浓度管理HE-960TM可精确测量半导体和液晶生产中光阻显影药液制程中主要成份TMAH (四甲基氢氧化铵)的浓度。FES-510系列专用传感器具有宽泛的量程和高耐药性。4-极式炭质传感器具有显著的耐药性
特征
- 大量程适用
自动小数点位调整能够测量的TMAH量程从0.000至10.00%。
- 自动显示范围切换
从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化
- 可测3种数值:TMAH浓度值、电导率计和温度
当基于相关温度特性数据补偿温度时测量TMAH浓度。本机也可用于测量其它化学药液的电导率。
- 耐药性4-极炭质传感器
采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传.
- 4-通道传送输出
本机配有4个输出通道,所以可分别用于TMAH温度、电导率和温度。可从2个类型的输出电流中进行选择:4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.
- 24 V DC 电源
- RoHS兼容
HE-960H-TM为无铅焊接的环境友好型产品。
制造: HORIBA Advanced Techno
規格
◆型号 | HE-960H-TM |
测量方式 | 4-极式炭质流通式电导率测量-浓度转换 |
传感器输入 | 1-通道 |
温度传感器规格 | 铂电阻1000Ω/0ºC |
测量范围 | TMAH 浓度: 0 to 10% |
重复性 | ±0.5%全量程以内(等价输入) |
直线型 | ±0.5%全量程以内(等价输入) |
传送输出 | 输出点数: 4 |
接点输出 | 输出点数: 5
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接点输入 | 输入点数: 1 |
通讯输出 | RS-485输入/输出 |
校正功能 | 电导率:基于测量常数(参数输入)的特定补偿系数 |
传送输出保持功能 | 可从前值保持和任意值保持中选择(但是,在维护模式中仅前值保持可用) |
自诊断功能 |
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温度补偿 |
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温度补偿范围 | TMAH: 0至50ºC, 电导率: 0 to 100ºC |
周围环境 | 温度: -5至45ºC, 相对湿度: 20至85% (无浓缩) |
电源 | 24 V DC ±10%, 10 W (最大) |
保护结构 | 面板: IP65, 后盖: IP20, 终端: IP00 (室内面板安装型) |
质量 | 约 550g |
适用规格 | CE marking, FCC Part 15 |
兼容传感器 | FES-510 系列 (炭质流通型电导率传感器) |



