SPM监测仪 CS-150

SPM Monitor image

概要

CS-150是半导体制造中清洗工艺的SPM溶液用于高精度药液浓度的监测仪，实现了过去所没有的高速响应性和小巧化。可以实时检测金属离子以及有机物的清除作业中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分浓度，通过报警信号通知自动补给的时间。由于实现了高速响应性和短的检测周期，可以忠实地跟踪浓度变化，并且，由于小巧化设计，可以更容易组装到清洗装置中。

特征

以大约3秒的检测周期支持300mm工艺的浓度管理。实现了约3秒这样短的检测周期。大幅提高了浓度的实时跟踪性。支持多径方式和单径方式清洗装置详细的浓度管理。

・小巧设计有利于清洗装置节省空间
底面面积只有原先的2/3(*)左右，这样的小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。
*与本公司产品CS-340比较

・通过减少清洗工艺中的批次不良，提高了原材料利用率
通过使用监测输出，进行SPM溶液的补给控制，从而实现高重现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而有利于提高原材料利用率。

・通过全自动检测，实现了简易管理
用户只需要引入SPM溶液即可。由于检测是全自动方式，所以开始检测后不需要进行任何控制。并且，参照光谱检测由于使用空气，所以不需要利用水。

・通过采取万无一失的气泡对策，可以进行连续检测
由于内置有脱泡功能，在快到检测池时分离气泡，从而可以在液体流动的状态下连续检测。

・采用DC24V，实现了高安全性
电源采用了低电压DC24V，只有大约45W，相对于触电事故的安全性和节电效果提到了进一步提高。并且，由于内置漏水传感器，在发生漏水时可以切断SPM溶液的供应等，采取紧急措施。

制造: HORIBA

規格

号:

CS-150

CS-150C

型号和技术规格:

没有冷却器

冷却器一体型

检测对象:

SPM(硫酸/过氧化氢水溶液)

检测原理:

吸收分光法

浓度计算的原理:

温度补偿型多变量解析法

检测范围
(质量%):

硫酸：50.0〜90.0%
过氧化氢：0.00〜10.00%
水：0.0〜50.0%

重现精度
(室温变化±1℃以内)
(质量%):

硫酸：±0.5%
过氧化氢：±0.50%
水：±1.5%

药液条件

温度

20〜30℃

20〜60℃

流量

20〜60mL/min

20〜40mL/min

压力

0.10〜0.20MPa

检测周期:

最小约3秒

设置温度:

20〜25℃

操作面板:

1)温度检测值的显示：硫酸、过氧化氢、水
2)报警信号的显示(硫酸、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
3)报警信号值的设定(硫酸、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限

串行输入:

RS- 232C
1)浓度数据：硫酸、过氧化氢、水
2)报警信号值的设定(硫酸、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限

并行输入:

DC12〜30V(光耦合器绝缘)
并行浓度警报(有效/无效)

并行输出:

开路集电极输出ON时最大电流：5mA；OFF时最大电压：30V
1)报警信号输出(硫酸、过氧化氢)：浓度下下限、浓度下限、浓度上限、浓度上上限
2)装置异常(包括漏液在内)、3 )检测中

模拟输出:

4〜20mA (硫酸：50.0〜100.0%/过氧化氢：0.00〜10.00%)
*关于电流输出的量程技术规格，可以根据客户要求的技术规格来设定。(请在订购时指定)

电源:

DC24V±10%  2A

外形尺寸:

205(W)×329(D)×269(H)

291(W)×329(D)×269(H)

质量:

约11kg

约12kg

连接配管尺寸:

引入用、排出用外径均为6mm(内径均为4mm)

配管接头:

日本柱状超级类型

有关上述以外的检测范围，请另行咨询协商。