TMAH/H2O2浓度计，CS-139E

CS Series Monitors

概要

CS-139E是一款高精度的化学药液浓度计，适用于半导体制造中使用TMAH/H2O2药液的清洗制程。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化，可实时监测TMAH/H2O2药液中各个成分的浓度值。基于浓度计输出信号的反馈控制可使TMAH/H2O2药液的浓度保持在一个适当的范围中并可避免不必要的药液替代。另外，整合有冷却单元的机型可对应更高的样品温度。

特征

  •  监测周期大约为3秒，支持300mm工艺的浓度管理

实现了以大约2秒为监测周期(*)的高速响应。支持向批次式和单槽式清洗装置定时反馈浓度信息。
*不包含药液的置换时间、冷却时间

  • 小巧化设计有利于节省清洗装置的空间由于底面面积只有原来的2/3(*)左右，这种小巧化设计有利于清洗装置节省空间。可以很容易地组装到清洗装置中。

*和本公司产品CS-220系列进行比较

  • 通过减少清洗工艺中的批次不良，提高产量

通过浓度计的信号输出，进行TMAH/H2O2溶液的补给控制，从而实现高再现性的清洗。减少清洗工艺中的批次不良，从而推进产量的全面提高。

  • 全自动监测与简易控制

用户只需引入TMAH/H2O2溶液即可。监测是全自动方式，因此开始监测后不需要进行任何控制。另外，由于参照光谱测量时使用的是空气，所以不需要用水。

  • 通过采取全面的气泡对策，可监测高温样品

在脱泡槽中分离气泡，在监测过程中进一步利用电磁阀把气泡混入监测单元内的发生次数抑制在最低限度。并且，如果是冷却器一体型产品，则可以直接倒入高温度样品至浓度计。温度补偿将自动进行。

  • 采用DC24V，实现高安全性

电源采用DC24V低压电，提高了安全性以避免触电事故的发生。并且，由于内置漏水传感器，在发生漏水时可以切断SC-1溶液的供应等，采取紧急措施。

制造: HORIBA

規格

型号规格

CS-139E: 无冷却单元
CS-139EC: 冷却单元一体型

测量样品

TMAH/H2O2 (TMAH/H2O2药液)

测量原理

吸收光谱测定法

浓度计算原理

温度补偿型多变量解析法

测量范围

TMAH: 0.00 至 0.50%
H2O2: 0.00至2.00%
H2O: 97.5至100.0%
如需其它量程信息，请与HORIBA联系。

再现性
 (峰-峰)

TMAH: ± 0.10%
H2O2: ± 0.25%
H2O: ± 1.0%

药液条件

CS-139E:
温度: 20至30°C
流量: 20至60 mL/min.
压力: 0.10至0.20 MPa
CS-139EC:
温度: 20至80°C
流量: 20至40 mL/min.
压力: 0.10至0.20 MPa

测量周期

最小约 2 秒
(不包含药液的置换时间和冷却时间)

设备温度

20 至25°C

操作面板

1) 温度值显示: TMAH、过氧化氢、水
2) 报警信号的显示(TMAH、过氧化氢)：浓度下-下限、浓度下 限、浓度上限、浓度上-上限
3)报警信号值的设定(TMAH、过氧化氢)：浓度下-下限、浓度下限，浓度上限、浓度上-上限

串行输入/输出

RS-232C</chmetcnv>
1) 浓度数据: TMAH、过氧化氢
2)报警信号值的设定(氨、过氧化氢)：浓度下-下限、浓度下限、浓度上限、浓度上-上限
并行输入DC12〜30V(光电耦合器绝缘)
并行浓度报警(ON/OFF)

并行输出

开路集电极输出为ON 时的最大电流：5mA
开路集电极输出为OFF时的最大电压：30V
1)报警信号输出(TMAH、过氧化氢)：浓度下-下限、浓度下限、浓度上限、浓度上-上限
2)装置异常
3)漏液

模拟输出

4〜20mA(2输出：TMAH浓度、H2O2浓度的2输出)
*与量程规格技术规格无关，可以使4〜20mA输出对应于0〜10%浓度。(请在订货时指定)

电源

24 V DC ± 10%, 2 A

外形尺寸

CS-139E: 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm
CS-139EC: 291 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm

重量

CS-139: 约 11 kg
CS-139EC: 约12 kg

连接配管尺寸

导入用、排出用外径均为3mm(内径均为2mm

配管接头

Nippon Pillar Super型