便携式DO监测仪 SD-300
概要
对半导体工业用超纯水中的DO进行高精度测量和监测
由于半导体集成程度不断增加，这就要求提高用于晶片清洗作业中的超纯水水质。超纯水中所含有的微量DO (溶解氧)会氧化晶片表面，因此为保证超纯水的高质量，必须严格控制DO含量。HORIBA的SD-300正是其解决方案。利用HORIBA的半导体技术，其可提供高效的纯水管理。SD-300 DO监测仪轻便且可携带。，适合高精度地测量半导体工业用超纯水中的DO含量。
特征
●便携式设计便于在窄小空间操作
小型、便携式、且使用简单。
●高灵敏度的宽量程检测
检测量程可以从0〜20μg/L、0〜200μg/L、0〜2mg/L、0〜20mg/L这4个量程中进行选择。自动/手动量程可以通过开关进行切换。实现了适合量程中的高灵敏度的测量。
●高速响应性
SD-300 DO监测仪具有高速的响应速度(90%在30秒之内)。
●采用平板设计，适合于在洁净室内使用
为了便于操作，采用了平板设计的前面板。
灰尘不会在开关等间隙处积存。
最适合于在洁净室内使用。
●耐用的内部液体交换传感器
传感器是内部液体交换类型易于更换。非常耐用，有利于降低运转成本。
●标准的模拟/串行输出
不仅有模拟输出，还配备了标准的RS-232C输出方式。因此进行现场监测时，用于数据管理的数据可通过RS-232C进行传送 。
制造: HORIBA Advanced Techno
規格
测量对象 | 溶解氧 | |
原理 | 隔膜型极谱法 | |
测量量程 | 0〜20μg/L , 0〜200μg/L , 0〜2mg/L , 0〜20mg/L | |
响应速度 | 30s/90%(试料水温度在20℃以上) | |
反复性 | 全刻度的±1% | |
温度补偿 | 5〜50℃ | |
试样水条件 | 温度 | 2〜50℃ |
压力 | 0.02〜0.2MPa | |
流量 | 0.2〜0.4L/min | |
外部输出 | 模拟输出 (浓度) | DC 4〜20mA 或 DC 0〜16mA 隔离输出 负荷 最大500Ω |
接点输出 (警报) | 接点A输出 接点电容 DC24V, 0.1A | |
串行输出 | 仅RS-232C输出 | |
校正方法 | 零点 | 电校正或者使用零标准液校正 |
跨度 | 空气校正(将传感器放在空气中) | |
环境条件 | 温度：0〜45℃，湿度：85%以下 | |
电源 | 85至264 V AC , 50/60Hz | |
功率 | 约50VA (于 100 V AC) | |
外形尺寸 | 296(W)×110(H)×258(D) mm(仅操作部分) | |
重量 | 约3.4kg(仅操作部分) | |
操作部与传感器间的延长线缆长度 | 5m(标准), 10m(可选件) | |
