碳质探头传感器(高浓度型) HE-960HC
概要
适用于半导体和FPD生产制程中化学药液和废液的管理HE-960HC测量电导率可作为基于化学药液和废水管理的参数。其对偶电路和软件与4-极式炭质传感器相结合测量范围可达0至1000mS/cm而无需切换。由于具有两种浓度转换功能，所以可将其作为过程浓度计使用，也可监测特定化学药液中的浓度变化。
特征
- 大量程适用
最高可测量至1000 mS/cm（温度补偿前的电导率量程）
- 自动显示范围切换
从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化。
- 具有各种温度补偿
由于可自由设定标准温度和温度补偿 ，温度补偿可被应用于对应液体。
- 浓度转换功能
输入温度系数和浓度与电导率的关系，可进行两种浓度转换。
- 通讯功能 (RS-485) 为标准配置
可远程控制主机，例如：变更设定或检查测量值
- 耐药性4-极炭质传感器
采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传感器。可测量使用于半导体清洗和其它制程中多种化学药液的大范围电导率。
HE-960HC为无铅焊接的环境友好型产品。
制造: HORIBA Advanced Techno
規格
型号
| HE-960HC
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测量方式
| 4-极式
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传感器输入
| 1-通道
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温度传感器规格
| 铂电阻 1000Ω/0ºC
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测量范围
| 测量常数
| 1/cm (也可设定0.1/cm 或 10/cm)
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电导率
| 0 至 1000 mS/cm (无温度补偿的测量范围)
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温度
| -20 至 150ºC
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浓度转换
| Custom1: 0 至 100%, Custom2: 0 至 100% (用户指定转换公式)
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重复性
| 0至20.00 mS/cm
| ±0.5%全量程以内
| (等价输入)
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20.0至200.0 mS/cm
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200至1000 mS/cm
| ±1.0%全量程以内
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0.0至100.0ºC
| ±0.2ºC以内
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直线型
| 0至20.00 mS/cm
| ±0.5%全量程以内
| (等价输入)
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20.0至200.0 mS/cm
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200至1000 mS/cm
| ±1.0%全量程以内
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0.0至100.0ºC
| ±0.5ºC以内
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传送输出
| 输出点数: 4
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接点输出
| 输出点数: 5
错误报警输出 (RF)
(R4和 RF通用)
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接点输入
| 输入点数: 1
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通讯输出
| RS-485输入/输出
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校正功能
| 电导率:基于测量常数（参数输入）的特定补偿系数
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传送输出保持功能
| 可从前值保持和任意值保持中选择（但是，在维护模式中仅前值保持可用）
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自诊断功能
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电导率温度补偿
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温度补偿范围
| 0 至 100ºC (0ºC以下或100ºC以上，将作相应的计算)
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周围环境
| 温度: -5至45ºC, 相对湿度: 20至85% (无浓缩)
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电源
| 100 至 240 V AC±10%, 50/60Hz, 20 VA (最大)
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保护结构
| 面板: IP65, 后盖: IP20, 终端: IP00 (室内面板安装型)
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质量
| 约 550g
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适用规格
| CE marking, FCC Part 15
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兼容传感器
| FES-510 系列 (4-极式炭质流通型电导率传感器)
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4-极式炭质流通型电导率传感器
型号
| FES-510-1/4
| FES-510-3/8
| FES-510-1/2
| FES-510-3/4
| FES-510-1
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触液端材质
| 玻璃碳 (电极), PFA (主体), Kalrez® (密封件)
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配管尺寸
| 1/4 英寸
| 3/8英寸
| 1/2英寸
| 3/4英寸
| 1英寸
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样品流量
| 0至2 L/min
| 0至8 L/min
| 0 至 10 L/min
| 0至15 L/min
| 0至25 L/min
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样品压力范围
| 0至0.5 MP (5至50ºC), 0至0.1 MP (100ºC以上)
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样品温度
| 5至100ºC (水溶液的沸点为 100ºC)
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电缆长度
| 10 m (标准)
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注：规格细节将会根据转换器和传感器的不同组合而有所不同。本规格适用于4-极式炭质电导率传感器组合。
