加热系统 LSC系列

HORIBA STEC在售的最好的液体加热系统已经能够满足目前高科技工业的需求，LSC-A100可以不需要载气并提供大流量气化，LSC-A100能够提供稳定的气化后的液体，例如TESO 60SCCM和H2O 2SLM。

所有的设备操作可以在设备前端的操作界面上实现。一种可选的袖珍PC型的PDA可以用来监视LSC的操作状态，并且去记录和分析操作数据。

LSC系列是一种针对诸如TEOS等液体的液体气化系统，历史证实这是一种很受欢迎的系列。LSC-A100是LSC系列中最新的一种型号，可以产生大流量的蒸汽。和之前的型号比较，新的LSC-A100可以在没有载气的情况下提供稳定的液体气化，可以传送稳定持续的蒸汽供应（如600ccm的TEOS，2SLM的H2O）。