反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列

•  适合高真空环境使用：不锈钢质本体
• 抗腐蚀

• 使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本体也可以提供

• 适合对于腐蚀性气体的使用

当排气端流量被调整到最佳的位置：

• 抗蚀剂是以一层均匀的薄膜方式分布的

• 阻止了喷雾的次级沉积

• 阻止了危险水蒸气的扩散

  此外，与流量传感器控制方式相比较而言，因抗蚀剂和其他污染物堆积对本产品造成的影响更小

  此产品属于受日本法律管制的出口品（列于控制清单之上）。在从日本出口到海外或者供应给非日本企业前，必需从日本经济产业省的相关部门获得出口许可证件。