适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,引以为豪。 低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号: SEC-E40MK3/E50MK3
低成本的金属密封件
它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号:SEC-405可以进行±0.5%F.S.的流量控制。