实时干涉膜厚检测仪

实时膜厚检测仪DIGILEM-CPM-Xe/Halogen

实时的干涉测量设备，提供蚀刻/镀膜制程中高精度的膜厚及蚀刻沟深度检测

实时膜厚检测仪LEM-CT-670-G50

实时的干涉测量设备，提供蚀刻/镀膜制程中高精度的膜厚及蚀刻沟深度检测