Spektroskopische Ellipsometer

Die ellipsometrische Analyse liefert wichtige Informationen über die Materialeigenschaften, die weit über die bloße Schichtdicke und die optischen Konstanten hinausgehen, geben sie doch Auskunft über Anisotropie, Gradienten, Morphologie, Kristallinität, chemische Zusammensetzung und elektrische Leitfähigkeit.

Dank nicht rotierender Phasenmodulation oder Flüssigkristall-Modulation ermöglichen HORIBA Scientific’s Ellipsometer im höchsten Maße genaue und sensitive ellipsometrische Messungen in einem sehr weiten spektralen Bereich – von VUV bis NIR.

UVISEL Plus

Produkte: UVISEL VIS: 210-880 nm | UVISEL FUV: 190-880 nm | UVISEL NIR: 245-2100 nm | UVISEL ER: 190-2100 nm | UVISEL VUV: 145-880 nm

Messung dünner Schichten und optischer Konstanten. Für Forschung und Prozessentwicklung.

UVISEL VUV

Das UVISEL 2 VUV bietet die schnellste Schichtmessung über den größten Spektralbereich von 147 bis 2100 nm.

Auto SE, Simple Thin Film Measurement Tool

Stellen Sie Ihre Probe visuell dar und messen Sie dünne Schichten und optische Konstanten in wenigen Sekunden.

„Mit dem AutoSE tritt die Routinemessung in eine neue Ära ein.“

NEUER erweiterter NIR-Spektralbereich!

Smart SE

Vielseitiges spektroskopisches Ellipsometer, das Ergebnisse auf Forschungsniveau zu einem erschwinglichen Preis liefert.