HORIBA ist einer der weltweit größten Hersteller von Massendurchflussreglern für Gase und Flüssigkeiten. Wir bieten eine Reihe analoger, digitaler und Hochtemperatur-Massendurchflussregler sowie Steuerungs- und Abgabesysteme für die Prozessverdampfung von Flüssigkeiten am Verwendungspunkt.

HORIBA bietet Ihnen die für Ihren Erfolg an Beschichtungslinien unerlässliche Regelung für Prozesse wie chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Atomlagenabscheidung (ALD), metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD), physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) und Diamond Layer Coating (DLC). Wir bieten eine umfassende Palette an Fluidsteuerung und Prozessüberwachung für die Steigerung der Ausbeute, des Durchsatzes und des Werts Ihres Beschichtungsprozesses.

HORIBA bietet eines der kleinsten Quadrupol-Massenspektrometer der Welt, das die Arbeit bei viel höheren Drücken (1 Pa) als mit größeren herkömmlichen Systemen ermöglicht. Damit sinkt der Bedarf an zusätzlicher Pumpausrüstung.

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Glass Coating

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