Bei der Glasfaserfertigung ist die Plasmabrennergassteuerung für den Prozess von wesentlicher Bedeutung.  Die Durchflussmessung und -regelung von Horiba wird genutzt, präzise und wiederholt den Durchfluss dieser Gase zu regeln. Zur Anfertigung einer Vorform können Glasfaserhersteller POCl3, SiCl4 und GeCl4 einsetzen, die über ein Bubbler-System oder eine Hot-Box bereitgestellt werden. Eine präzise und wiederholbare Regelung des Verdampfungsvorgangs setzt den präzisen Betrieb von Bubbler/Hot-Box sowie eine genaue Regelung des Trägergases voraus.

Das Flaggschiff von HORIBA, die Reihe SEC-Z500X, die Durchsätze von bis zu 500 slm regeln kann, ist in Kombination mit unserer Reihe SEC-8000 von Hochtemperatur-Massendurchflussreglern die perfekte Lösung für eine präzise Durchflussregelung dieser kritischen Prozessgase.

Optical Fiber Map

Verwandte Produkte

Unten sehen Sie die verschiedenen Phasen des Herstellungsprozesses für Glasfasern. Bitte klicken Sie auf die einzelnen Phasen, um die Produkte zu sehen, die dafür jeweils erhältlich sind.

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

For various industries. Wide range of communication, Digital/Analog, DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™ and EtherCAT®. Wide control range from 10 SCCM to 1000 SLM. All-metal.

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

The best-selling digital mass flow controller offering multi range/multi gas solutions. High accuracy, fast response, and compact size. All metal.

High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000 F/D Series

The digital mass flow controller for high-temperature environment, from 15 ℃ to 120 ℃. Digital/Analog communication.

Baking System

Compact Baking System LSC Series

Best-selling, compact baking system suitable for a range of liquid source delivery applications. Easy maintenance.

Einspritzsystem

Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen aus folgenden Komponenten an. Bitte kontaktieren Sie uns mit Ihren Wünschen.

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

For various industries. Wide range of communication, Digital/Analog, DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™ and EtherCAT®. Wide control range from 10 SCCM to 1000 SLM. All-metal.

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

The best-selling digital mass flow controller offering multi range/multi gas solutions. High accuracy, fast response, and compact size. All metal.

Digital Liquid Mass Flow Meters/Controllers LF-F/LV-F series

High precision liquid mass flow controller using the sensor with a unique cooling method. Can control from micro-liter to ultra low flow rate.

Mixed Injection System Liquid Vaporizer MI-1000/MV-1000 Series

Vaporize liquid source stably by the gas-liquid mixture vaporization method. Can be used for low temperature and large flow production.

Bubbler-System

Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen aus folgenden Komponenten an. Bitte kontaktieren Sie uns mit Ihren Wünschen.

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

For various industries. Wide range of communication, Digital/Analog, DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™ and EtherCAT®. Wide control range from 10 SCCM to 1000 SLM. All-metal.

Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X Series

The best-selling digital mass flow controller offering multi range/multi gas solutions. High accuracy, fast response, and compact size. All metal.

Digital Auto Pressure Regulator

High performance auto pressure regulator with installed pressure sensor and piezo actuator valve. Digital/Analog and DeviceNet™ communications.

Vapor Concentration Monitor IR-300

In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.

IR-200

Monitors SiF4 gas concentration in real time, and identifies the cleaning end-point based on SiF4 gas concentrations.

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Automatisches Nachfüllsystem für Flüssigkeiten

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Liquid Auto Refill System LU Series

Automatic liquid refill system delivers chemicals directly to baking or direct liquid injection systems. Safe, efficient, and continuous supply of liquid sources.