Herstellungsprozess für Dünnschichtsilizium und Produkte von HORIBA, die diesen Prozess unterstützen.

Thin Film Silicon DI Water Analysis/Waste Water Monitoring Chemical Solution Monitoring Material Analysis Fluid Control Film Deposition Process Control/Thin Film Analysis

Verwandte Produkte

Unten sehen Sie die verschiedenen Phasen des Herstellungsprozesses für Dünnschichtsilizium. Bitte klicken Sie auf die einzelnen Phasen, um die Produkte zu sehen, die dafür jeweils erhältlich sind.

2-channel Carbon Sensor Resistivity Meter HE-960RW-GC(W)

Resistivity meter having the 2-channel carbon sensor. Measurement range: 0 - 100.0 MΩ・cm

2 channel Sanitary conductivity meter HE-960CW product photo

Das HE-960CW ist für Leitfähigkeitskontrollmessungen im Bereich von sanitären Anlagen und der pharmazeutischen Industrie konzipiert.

Highly Sensitive Silica Monitor SLIA-300

Measure the ultra-low density of silica at the finest sensitivity of 0.01 µg/L (0.01 ppb).

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GD-Profiler

Der GD-PROFILER 2 ist ein simultan messendes Glimmentladungsspektrometer mit einem 0,5 m Polychromator, der mit bis zu 47 Kanälen ausgerüstet werden kann. Er kann optional mit einem leistungsstarken 0,64 Meter Monochromator, der die Auswahl beliebiger weiterer Analysenlinien bietet, zur sequenziell-simultan arbeitenden Kombination (SEQ-SIM) ausgebaut werden.

LabRAM HR Evolution

Analytisches Raman Mikroskop mit hoher spektraler Auflösung für herausragende Ergebnisse und einzigartige Flexibilität; vollständig automatisiertes System mit vielfältigem Zubehör für unterschiedliche Applikationen

XGT-7200

Einzelpunktanalyse und automatisiertes hyperspektrales Imaging

zwei verschiedene Vakuum-Optionen

Analysenspot-Durchmesser von 1,2mm bis zu einmaligen 10µm

Compact Process Gas Monitor MICROPOLE System

Compact process gas monitor using quadrupole mass spectrometer. Monitors trace gases, responds quickly to process shift . Easy to install and maintain.

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Mixed Injection System Liquid Vaporizer MI-1000/MV-1000 Series

Vaporize liquid source stably by the gas-liquid mixture vaporization method. Can be used for low temperature and large flow production.

Liquid Auto Refill System LU Series

Automatic liquid refill system delivers chemicals directly to baking or direct liquid injection systems. Safe, efficient, and continuous supply of liquid sources.

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GaskonzentrationMonitor

Vapor Concentration Monitor IR-300

In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.

Auto SE, Simple Thin Film Measurement Tool

Stellen Sie Ihre Probe visuell dar und messen Sie dünne Schichten und optische Konstanten in wenigen Sekunden.

„Mit dem AutoSE tritt die Routinemessung in eine neue Ära ein.“

NEUER erweiterter NIR-Spektralbereich!

Optical Emission Spectroscopy Etching End-point Monitor EV-140C

Emission analysis type end-point monitor intended for end-point detection or plasma condition control in the plasma-based semiconductor thin-film process.

UVISEL2 - neue

Die ultimative Lösung für alle Herausforderungen der Dünnschichtmessung