AutoSE

Übersicht

Beim AutoSE handelt es sich um ein neues Schichtmesssystem für die vollautomatische Analyse von Dünnschichtproben auf Knopfdruck.

Auto SE, Simple Thin Film Measurement Tool

Die Probenanalyse dauert nur wenige Sekunden und wird mit einem umfangreichen Bericht abgeschlossen, der das Dünnschichtsystem vollständig beschreibt, einschließlich Filmdicke, optische Konstanten, Oberflächenrauhigkeit und Filmhomogenität.

AutoSE ist ein Messsystem mit umfangreicher Ausstattung. Dazu gehören ein automatischer X,Y,Z-Messtisch, Echtzeitbildgebung der Messstelle und die automatische Auswahl der Messspotgröße. Das umfangreiche Angebot an Zubehör ermöglicht die Anpassung des Messsystems an die verschiedensten Anwendungen.

AutoSE ist mit integrierten Diagnosefunktionen für die automatische Erkennung und Diagnose von Störungen ausgestattet und unterstützt den Anwender mit umfangreichen Informationen bei der Fehlersuche.

AutoSE ist dank seiner Bedienerfreundlichkeit und zahlreicher automatischer Funktionen das ideale System für routinemäßige Dünnschichtmessungen und die Qualitätskontrolle.

Merkmale

  • Anwenderfreundliche Dünnschichtanalyse
  • Großzügiger Funktionsumfang
  • System zur visuellen Darstellung der Probe
  • Mikrospots bis hinunter zu 25 x 60 µm
  • Umfangreiches Zubehör

Hergestellt von HORIBA Scientific

Spezifikationen

  • Spektralbereich: 440-1000 nm
  • Messspotgrößen: automatische Auswahl 500 x 500 µm; 250 x 500 µm; 250 x 250 µm; 70 x 250µm; 100 x 100 µm; 50 x 60 µm; 25 x 60 µm
  • Detektion: spektrale Auflösung: 2nm
  • Probentisch: Vakuumansaugung, Höhenverstellung 40 mm
  • Visuelle Darstellung der Probe: CCD-Kamera, Sichtfeld: 1.33 x 1 mm, Auflösung: 10 µm
  • Goniometer: fester Winkel bei 70°, mögliche Konfiguration bei 66 und 61.5°
  • Umfassendes Zubehör
  • Messdauer: < 2 s, typisch 5 s
  • Genauigkeit: NIST 100 nm d ± 4 Å, n (633 nm) ± 0.002
  • Wiederholbarkeit: NIST 15 nm ± 0.2 Å