UVISEL2

Übersicht

HORIBA Scientific hat eine neue Generation von spektroskopischen Ellipsometern für die Wissenschaft entwickelt, die sich bei der Charakterisierung von Nano- und Mikroschichten durch höchste Leistung auszeichnen.

Das UVISEL2 ist mit der breitesten Palette integrierter automatisierter Funktionen ausgestattet, die für die Untersuchung aller Werkstoffgruppen nützlich sind.

Das UVISEL2 besitzt ein patentiertes System zur visuellen Darstellung der Probenoberfläche, das in Verbindung mit der automatisierten Wahl des Messspots eine genaue Positionierung der Messposition ermöglicht.

Das UVISEL2 bietet weltweit den kleinsten patentierten achromatischen Messspot von nur 35 µm, mit dem sehr kleine Probenbereiche über einen großen Spektralbereich von FUV bis NIR gemessen werden können.

Das über die DeltaPsi2 Software gesteuerte UVISEL2-System ist bedienerfreundlich und bietet die Leistungsfähigkeit, die nicht nur für die Charakterisierung aller aktuellen Materialien, sondern auch für die Untersuchung von Materialien und Strukturen der nächsten Generation erforderlich ist.

Das von HORIBA Scientific entwickelte UVISEL-System, das für seine Genauigkeit und Empfindlichkeit bekannt ist, wurde umfassend umgestaltet und verbessert, so dass nun ein System mit außerordentlichen Spezifikationen zur Verfügung steht, die branchenweit unerreicht sind.


Hergestellt von HORIBA Scientific

Spezifikationen

  • Spektroskopisches Scanning-Ellipsometer mit Phasenmodulation:190-880nm
  • Visionssystem liefert Echtzeit-Farbbilder der Probe und sorgt für die genaue Positionierung der Messspots.

  • Computergesteuerte Mikrospots

    • Auswahl von acht verschiedenen Messspotgrößen, die allen Probenanforderungen gerecht werden
    • Achromatische Mikrospot-Optik für kleinste Messspots bis hinunter zu 35 µm

  • Computergesteuertes Goniometer mit variablem Einfallswinkel

    • Winkelbereich: 35°-90°
    • Geeignet für spektroskopische Ellipsometrie mit variablem Einfallswinkel

  • Computergesteuerter XYZ-Messtisch mit den Abmessungen 200 mm x 200 mm 

    • Vollautomatisiertes Proben-Mapping
    • Quadratischer 200-mm-Probenhalter mit zwei Vergleichs-/Referenzproben
    • Automatische Höheneinstellung: 40 mm mit Autofokus

  • Motorisierte Probenneigung

    • Ausrichtung der Probe mittels Lasersystem

  • Xenon-Lichtquelle mit 150 W

  • Doppelmonochromator für den UV-VIS-Betrieb

    • 190-1000 nm (Streulichtunterdrückung < 0.5 % bei 190 nm)
    • Höchste Empfindlichkeit und breiter dynamischer Bereich dank PMT-Doppeldetektor

NIR-Erweiterung bis zu 2100 nm

  • Monochromator für den NIR-Bereich

    • 880-2100 nm
    • InGaAs detector

  • Computer und DeltaPsi2 Softwarepaket

    • Datenerfassung, Kalibrierung und Datenauswertung
    • Automatische Kalibrierung