Produktreihen

HORIBA hat ein komplettes Angebot von Analysegeräten, Fluidsteuerungs-, Verdampfer- und Messsystemen entwickelt, das für jede Phase des Halbleiter- und FPD-Herstellungsprozesses und eine Vielzahl weiterer Fertigungsprozesse maßgeschneidert ist.

Unsere Produkte umfassen Massendurchflussregler und Massendurchflussmesser, u. a für den Hochtemperatur-Massendurchfluss und den Flüssigkeitsmassenfluss. Automatisches Flüssigkeitsnachfüllsystem, Flüssigkeitsverdampfer, Mischeinspritzsysteme und Gaskonzentrationsmonitore.