Automatische Nachfüllsysteme

HORIBA bietet eine Vielzahl von Automatic Refill -Systeme sicher und zuverlässig Flüssigkeit zum Zeitpunkt der Verwendung liefern . Die Produktlinie umfasst Systeme alle Edelstahl benetzten Teile für kritische Halbleiterprozessen  verwendet , die auf die breite Palette von Hochleistungs- HORIBASTEC direkte Injektion Verdampfern für die Lieferung von TEOS , TEB , TEPO angeschlossen werden kann.

Das Line-up umfasst auch die preisgekrönte FDM -Reihe, die nicht-metallischen benetzten Teile für Metallkontamination kritische Prozesse verwendet wie in der Photovoltaik- Diffusionsprozess verwendet . Die FDM ist so konzipiert, Flüssigkeit POCl3 oder BBr 3 in Dual Contain Schlauch HORIBAs Advanced Temperature Compensated Bubbler Modul die VM -Serie zu liefern.

Flüssig Auto Refill System

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Liquid Auto Refill System LU Series

Automatic liquid refill system delivers chemicals directly to baking or direct liquid injection systems. Safe, efficient, and continuous supply of liquid sources.