Flüssigkeitsquelle Verdampfung System

HORIBA bietet eine Vielzahl von Flüssigkeitsquelle Verdampfungssystemen , einschließlich drei Arten von Verfahren : Direkteinspritzung, gemischte Injektion und Backen. Unsere Produkte erfüllen die strengen Anforderungen der Halbleitermarkt, die kontinuierlich zu verbessern.

Wir verwenden einzigartige und modernste Mess- / Verdampfungs Prinzipien für unsere Produkte , wie zum Beispiel die Differenzdruck - Messverfahren, das Kühlverfahren für die flüssige Masse -Durchflussmesser, die HORIBA früher in diesem Geschäft entwickelt , oder der Tornado -Flow-Methode für eine gemischte Injection System. Es gibt eine Reihe von geeigneten Verdampfungssystemen  und Massendurchflussregler   in verschiedener Modelle für Sie zur Auswahl.

HORIBA hat auch flüssige Massendurchflussregler und Liquid- Massedurchflussmesser für Präzision und schnelle Reaktion digitalen Fluss.

Some Liquid Materials HORIBA Has Experience With

Liquid Materials HORIBA has experiences
Acetic Acid Benzene B(OCH3)3 BTBAS C6F6
Cyclohexane Decyl-TMOS DPM DPMS Ethanol
Ge(OCH3)4 GeCl4 H2O HCD HDFDA
HMDS HMDSO i-Octane IPA Me-Cyclohexane
Methanol n-Octane OMCTS OMTS P(OCH3)3
PO(OCH3)3 SAM24 Si(CH3)4 Si(OCH3)4 SiCH3Cl3
SiCl4 SiH(OCH3)3 SiHCl3 Ta(OC2H5)5 TBTDETa
TDEAHf TDEAT TDMAS TDMAT TEB
TEMAHf TEMAZr TEOS TEPO THF
Ti(O-iPr)4 TiCl4 TMCTS Toluene 1,3-DMA

Please contact us if you require vaporizing any liquid materials that are not listed above.

Gemischte Injektion

Mixed Injection System MV-2000

High stability, compact mixed injection vaporizer system using the new vaporization method, "tornado flow". Suitable for vaporizing liquid sources pyrolyzed easily.

Backen System

Compact Baking System LSC Series

Best-selling, compact baking system suitable for a range of liquid source delivery applications. Easy maintenance.

Direkte Injektion

Direct Injection System VC Series

The compact vaporization system does not require carrier gas, it can be used with either a liquid or gas flow meter, allowing for easy integration for direct liquid injection.

Direct Injection (Carrier Gas Type)

Large Flow Liquid Source Vaporization Control System LE Series

Capable of large flow vaporization of hydrogen peroxide.

Flüssigkeit Auto Nachfüllung System

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA's Award Winning Fluid Delivery System (FDM Series) has revolutionised the POCl3 diffusion process by developing a system to automatically deliver bulk liquid POCl3. This Auto Refill System achieves higher uptime, cost reduction, improved process stability and higher safety.

Liquid Auto Refill System LU Series

Automatic liquid refill system delivers chemicals directly to baking or direct liquid injection systems. Safe, efficient, and continuous supply of liquid sources.

Flüssigkeits-Massendurchflussregler

Digital Liquid Flow Meter XF-100 Series

The fast response digital flow meter using differential-pressure measurement method, response time: 100 msec ( or less than 0.8 sec when it is used in combination with a piezo valve).

Digital Liquid Mass Flow Meters/Controllers LF-F/LV-F series

High precision liquid mass flow controller using the sensor with a unique cooling method. Can control from micro-liter to ultra low flow rate.