Druckregler

HORIBA haben eine verschiedene Arten von Produkten , die den Druck in einer Gasversorgungsleitung zu steuern. Wir bieten den Druckregler , der einen digitalen Hochleistungs- Drucksensor  und Piezoventil umfasst . Der Wafer -Kühlsystem verwendet Heliumgas die Hitzeschäden zu reduzieren. Der Abgasdruckregler  hält ein einheitliches Niveau der Druck in einer Kammer . Diese Elemente tragen Verbesserung in Ihren Fertigungsprozess zu erhalten.

Auto Druckregler

Digital Auto Pressure Regulator

High performance auto pressure regulator with installed pressure sensor and piezo actuator valve. Digital/Analog and DeviceNet™ communications.

Piezo -Betätigungsventil

Piezo Actuator Valve PV Series

The fast response piezo actuator valves are equipped with metal diaphragms and metal O-rings.

Abgasdruckregler

Exhaust Pressure Controller EC-5000 Series

The exhaust pressure controller maintains pressure within a chamber at any desired level. Equipped the high-resolution stepper motor and butterfly valve.

Wafer- Rückseite Kühlsystem

Wafer Back Side Cooling System GR-300 Series

High stability and accuracy pressure controller for back side wafer cooling in semiconductor manufacturing, installed piezo actuator valve and pressure sensor.