Vakuum / Gas Monitor

Wir haben verschiedene Arten von Vakuum-und Gas -Monitore und Analysers für den Einsatz mit Restgas analyzation . Neben dem Kapazitätsmanometer , die kompakt ist , ganz aus Metall und hat eine Selbsttemperatureinstellung Funktion , bieten wir auch die ultra-kompakten Gasmonitor , der neun Quadrupol in Arrays für Restgasanalyse hat . Diese sind optimal für die Prozesssteuerung oder Analyse in einer Vakuumkammer.Unsere Dampfkonzentration Monitor ( IR -300) ist zuverlässig, leistungsstark und nichtdispersiven infrered Absorptiometry (NDIR) . Unsere Kapazitätsmanometer weist eine Kapazität Membran gage.

 

Kompakter Prozessgaswächter

Compact Process Gas Monitor MICROPOLE System

Compact process gas monitor using quadrupole mass spectrometer. Monitors trace gases, responds quickly to process shift . Easy to install and maintain.

Kapazität Manometer

Capacitance Manometer VG Series

Compact all metal capacitance manometer

Gas Konzentration Monitor

Vapor Concentration Monitor IR-300

In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.

IR-200

Monitors SiF4 gas concentration in real time, and identifies the cleaning end-point based on SiF4 gas concentrations.